半導体関連（PIND、定加速度試験、スピンドライヤー）

スピンドライヤー

スピンドライヤー
スピンドライヤー_カタログ2枚目
スピンドライヤー
スピンドライヤー_カタログ2枚目

スピンドライヤーはウェハ・ガラス基板・液晶パネル等の洗浄後の乾燥を効率良く行う装置です。遠心力により製品にダメージを与えることなく、短時間でクリーンに乾燥させることが可能です。

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特徴FEATURE

主な特徴

SPINDRYYER

・短時間での水切りが可能
・ウェハサイズは2～8インチ(200mm)に対応
・陰圧排気機構／磁気シール／ラビリンスシールにて、モーター軸受よりの・ダスト進入をシャットアウト

仕様SPECIFICATION

型式SPD160RNSPD180
使用キャリアサイズ直径50~150mm×1直径50~200mm×1
電源AC 3相 200V 50/60Hz 5AAC 3相 200V 50/60Hz 5A
N20.2~0.3Mpa 20l/min0.2~0.3Mpa 20l/min
純水0.1~0.2Mpa 3l/min0.1~0.2Mpa 3l/min
排気・排水槽内排気VP75 （一般排気に接続） 槽内排気VP40 （一般排気と一般排水に必ず分離して接続）槽内排気VP75 （一般排気に接続） 槽内排気VP75 （一般排気と一般排水に必ず分離して接続）
外寸（mm）420W×718D×617H540W×734D×998H
モーターAC 3相 200V 4P 0.4KWAC 3相 200V 4P 0.4KW
回転数 (インバーター制御)槽内洗浄0~1,500rpm　　ドライ0~3,500rpm 直径150mm以上は、3,000rpm以下槽内洗浄0~1,500rpm　　ドライ0~3,500rpm 直径150mm以上は、3,000rpm以下
タイマー (任意デジタル設定)槽内洗浄0~999秒 1速　可変0~999秒　　2速　可変0~999秒槽内洗浄0~999秒 1速　可変0~999秒　　2速　可変0~999秒
静電除去装置槽内設置槽内設置
安全機構オートドアロック機構　　防振機構オートドアロック機構　　防振機構
重量約70kg約85kg

型式H840（手動）H840A（半自動） （クレードル定位置停止・回転）H840SA（半自動） （クレードル定位置停止・回転）
最大使用キャリアサイズ直径125mm×4　　直径150mm×2直径125mm×4　　直径150mm×2直径150mm×4　直径200mm×2
電源AC 3相 200V 50/60Hz 15AAC 3相 200V 50/60Hz 15AAC 3相 200V 50/60Hz 30A
駆動エアー0.4~0.5Mpa 15l/min0.4~0.5Mpa 15l/min0.4~0.5Mpa 20l/min
排気直径100ｍｍ（オートダンパー付き）直径100ｍｍ（オートダンパー付き）直径150mm （オートダンパー付き）
排水VP25VP25VP25
外寸（mm） オートダンパーを含む800W×990D×986H 蓋開閉時1,581H800W×990D×986H 蓋開閉時1,581H900W×1,090D×1,136H 蓋開閉時1,854H
フィルターULPAフィルター ※HEPAフィルターもオプションで選択できます。ULPAフィルター ※HEPAフィルターもオプションで選択できます。ULPAフィルター ※HEPAフィルターもオプションで選択できます。
モーターAC 3相 200V 4P 0.75KWAC 3相 200V 4P 0.75KWAC 3相 200V 4P 2.2KW
回転数 （インバーター制御） （任意周波数設定）1速400rpm 2速800rpm max1,000rpm1速400rpm 2速800rpm max1,000rpm1速300rpm 2速600rpm max800rpm
タイマー1速　可変0~999秒 2速　可変0~999秒1速　可変0~999秒 2速　可変0~999秒1速　可変0~999秒 2速　可変0~999秒
静電除去装置蓋内部に設置蓋内部に設置蓋内部に設置
安全機構バランス異常時自動停止 過負荷運動防止バランス異常時自動停止 過負荷運動防止バランス異常時自動停止 過負荷運動防止
重量約180kg約180kg約350kg

カタログCATALOG

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