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製品・サービス

スピンドライヤー

スピンドライヤー

スピンドライヤーはウェハ・ガラス基板・液晶パネル等の洗浄後の乾燥を効率良く行う装置です。遠心力により製品にダメージを与えることなく、短時間でクリーンに乾燥させることが可能です。

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製品特徴

  • 短時間での水切りが可能
  • ウェハサイズは2〜8インチ(200mm)に対応
  • 陰圧排気機構/磁気シール/ラビリンスシールにて、モーター軸受よりのダスト進入をシャットアウト

性能・仕様

型式 SPD160RN SPD180
使用キャリアサイズ 直径50~150mm×1 直径50~200mm×1
電源 AC 3相 200V 50/60Hz 5A
N2 0.2~0.3Mpa 20l/min
純水 0.1~0.2Mpa 3l/min
排気・排水 槽内排気VP75
(一般排気に接続)
槽内排気VP75
(一般排気に接続)
槽内排気VP40
(一般排気と一般排水に必ず分離して接続)
槽内排気VP75
(一般排気と一般排水に必ず分離して接続)
外寸(mm) 420W×718D×617H 540W×734D×998H
モーター AC 3相 200V 4P 0.4KW
回転数
(インバーター制御)
槽内洗浄0~1,500rpm  ドライ0~3,500rpm
直径150mm以上は、3,000rpm以下
タイマー
(任意デジタル設定)
槽内洗浄0~999秒
1速 可変0~999秒  2速 可変0~999秒
静電除去装置 槽内設置
安全機構 オートドアロック機構  防振機構
重量 約70kg 約85kg
型式 H840(手動) H840A(半自動)
(クレードル定位置停止・回転)
H840SA(半自動)
(クレードル定位置停止・回転)
最大使用キャリアサイズ 直径125mm×4  直径150mm×2 直径150mm×4
直径200mm×2
電源 AC 3相 200V 50/60Hz 15A AC 3相 200V 50/60Hz 30A
駆動エアー 0.4~0.5Mpa 15l/min 0.4~0.5Mpa 20l/min
排気 直径100mm(オートダンパー付き) 直径150mm
(オートダンパー付き)
排水 VP25
外寸(mm)
オートダンパーを含む
800W×990D×986H
蓋開閉時1,581H
900W×1,090D×1,136H
蓋開閉時1,854H
フィルター ULPAフィルター※HEPAフィルターもオプションで選択できます。
モーター AC 3相 200V 4P 0.75KW AC 3相 200V 4P 2.2KW
回転数
(インバーター制御)
(任意周波数設定)
1速400rpm
2速800rpm
max1,000rpm
1速400rpm
2速800rpm
max1,000rpm
1速300rpm
2速600rpm
max800rpm
タイマー 1速 可変0~999秒  2速 可変0~999秒
静電除去装置 蓋内部に設置
安全機構 バランス異常時自動停止  過負荷運動防止
重量 約180kg 約180kg 約350kg
  • 東京本社:03-3545-5725
  • 大阪支店:06-6282-4003
  • 名古屋支店:052-211-2206


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