スピンドライヤー
製品特徴
- 短時間での水切りが可能
- ウェハサイズは2〜8インチ(200mm)に対応
- 陰圧排気機構/磁気シール/ラビリンスシールにて、モーター軸受よりのダスト進入をシャットアウト
性能・仕様
型式 | SPD160RN | SPD180 |
使用キャリアサイズ | 直径50~150mm×1 | 直径50~200mm×1 |
電源 | AC 3相 200V 50/60Hz 5A | |
N2 | 0.2~0.3Mpa 20l/min | |
純水 | 0.1~0.2Mpa 3l/min | |
排気・排水 | 槽内排気VP75 (一般排気に接続) |
槽内排気VP75 (一般排気に接続) |
槽内排気VP40 (一般排気と一般排水に必ず分離して接続) |
槽内排気VP75 (一般排気と一般排水に必ず分離して接続) |
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外寸(mm) | 420W×718D×617H | 540W×734D×998H |
モーター | AC 3相 200V 4P 0.4KW | |
回転数 (インバーター制御) |
槽内洗浄0~1,500rpm ドライ0~3,500rpm 直径150mm以上は、3,000rpm以下 |
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タイマー (任意デジタル設定) |
槽内洗浄0~999秒 1速 可変0~999秒 2速 可変0~999秒 |
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静電除去装置 | 槽内設置 | |
安全機構 | オートドアロック機構 防振機構 | |
重量 | 約70kg | 約85kg |
型式 | H840(手動) | H840A(半自動) (クレードル定位置停止・回転) |
H840SA(半自動) (クレードル定位置停止・回転) |
最大使用キャリアサイズ | 直径125mm×4 直径150mm×2 | 直径150mm×4 直径200mm×2 |
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電源 | AC 3相 200V 50/60Hz 15A | AC 3相 200V 50/60Hz 30A | |
駆動エアー | 0.4~0.5Mpa 15l/min | 0.4~0.5Mpa 20l/min | |
排気 | 直径100mm(オートダンパー付き) | 直径150mm (オートダンパー付き) |
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排水 | VP25 | ||
外寸(mm) オートダンパーを含む |
800W×990D×986H 蓋開閉時1,581H |
900W×1,090D×1,136H 蓋開閉時1,854H |
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フィルター | ULPAフィルター※HEPAフィルターもオプションで選択できます。 | ||
モーター | AC 3相 200V 4P 0.75KW | AC 3相 200V 4P 2.2KW | |
回転数 (インバーター制御) (任意周波数設定) |
1速400rpm 2速800rpm max1,000rpm |
1速400rpm 2速800rpm max1,000rpm |
1速300rpm 2速600rpm max800rpm |
タイマー | 1速 可変0~999秒 2速 可変0~999秒 | ||
静電除去装置 | 蓋内部に設置 | ||
安全機構 | バランス異常時自動停止 過負荷運動防止 | ||
重量 | 約180kg | 約180kg | 約350kg |