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シングル・対向型・ロータリースピンドライヤー(遠心乾燥機）
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| ウエハ、ガラス基板、パネル、精密部品などの洗浄後のスピン乾燥をクリーンに行えます。 |
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ウエハサイズは2〜12インチ（300mm）に対応出来ます。 |
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各機種に手動、半自動、自動及びオートバランス型があります。 |
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低振動／磁気シール／ラビリンス機構にて、モータ軸受よりのダスト侵入をシャットアウト。 |
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その他に精密パーツ、リユース部品の洗浄後の乾燥機もあります。 |
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