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機器関連 プローバー

機器関連

    ウェーハ、基板、PKG等のワークに対応致します。

    ユーザー様の測定用途に合わせたカスタマイズ仕様で
    製作を致します。

製品特徴

マニュアル型

マニュアル型
  • 仕様
  • ワーク固定から計測まで全てマニュアル

    ステージにはX・Y・θ軸の3軸の調整が可能

    プローブ等をコンタクトする時のZ軸においては、
    ハンドルによる粗動と精密ステージによる微調
    整機能を完備


セミオート型

セミオート型
  • 仕様
  • ワーク固定とθ方向の合わせはマニュアル

    ワークのX・Y方向のピッチ送りとプローブをコンタクト
    させるZ方向の動作は自動タイプ

    設定・操作等はタッチパネルにて対応

  • 東京本社:03-3545-5725
  • 大阪支店:06-6282-4003
  • 名古屋支店:052-211-2206


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